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    真空机械手

    真空机械手
    VR-D系列晶圆搬运真空机械手主要应用于半导体加工过程中，是负责真空端不同工位间基片传送的关键自动化设备。

    单碟式真空传输系统（loadlock）

    单碟式真空传输系统（loadlock）
    该设备是兼容高真空环境的自动传输系统。传输室与工艺腔室通过传输阀连接，通过机械手在传输室和工艺室内传输产品，可消除在每个基片循环期间工艺室排气和排空过程，提高系统效率。

    团簇转运平台

    团簇转运平台
    提供定制化的Cluster团簇中心转运平台，用于将产品或衬底在各工艺腔室之间进行转运，以便客户进行二次开发。