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真空机械手
更新时间：2023-01-29 09:49:04 字号：T|T
VR-D系列晶圆搬运真空机械手主要应用于半导体加工过程中，是负责真空端不同工位间基片传送的关键自动化设备。
1、产品用途
VR-D系列晶圆搬运真空机械手主要应用于半导体加工过程中，是负责真空端不同工位间基片传送的关键自动化设备。
2、技术参数
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伸缩行程 |
≤600mm |
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载重量 |
≤0.5kg |
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耐真空度 |
10-5Pa |
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维数 |
3维 |
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重复运动精度 |
±0.1mm |
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维护周期 |
1年/次 |
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手臂耐温（℃） |
≤80 |
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叉片耐温（℃） |
≤300（更高可定制） |
