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单碟式真空传输系统（loadlock）
更新时间：2024-08-13 15:17:26 字号：T|T
该设备是兼容高真空环境的自动传输系统。传输室与工艺腔室通过传输阀连接，通过机械手在传输室和工艺室内传输产品，可消除在每个基片循环期间工艺室排气和排空过程，提高系统效率。
1、产品用途
该设备是兼容高真空环境的自动传输系统。传输室与工艺腔室通过传输阀连接，通过机械手在传输室和工艺室内传输产品，可消除在每个基片循环期间工艺室排气和排空过程，提高系统效率。
2、技术参数
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基片规格 |
12"(向下兼容) |
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工位数 |
单工位 |
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腔体材料 |
铝/不锈钢 |
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真空机械手 |
升降可选 |
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控制软件 |
MODBUS TCP/IP、I/O、RS485接口可选 |
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选配 |
其他功能可根据要求选配或定制 |
