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    超高灵敏度氦质谱检漏仪
    更新时间：2022-03-03 11:07:18 字号：T|T

     

    1、产品用途
            采用相对法和累积法，可检漏率3×10-15Pa·m3/s ，可有效满足真空寿命及要求较高的真空电子器件测试要求。

    2、技术参数
    极限真空度            ≤3×10-9mbar
    漏率检测范围            10-8～3×10-15Pa·m3/s
    工作响应时间：            ≤2s

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