20工位超高真空排气设备
更新时间:2022-11-05 11:37:10 字号:T|T
1、产品用途
用于20工位器件超高真空排气。
2、技术参数
极限真空 |
10-8Pa |
烘烤温度 |
室温+20℃~180℃ |
工位数量 |
20 工位 |
分区 |
共分成 4 个分区,每个分区可独立工作 |
温度均匀性 |
单个温区内≤±3℃ |