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20工位超高真空排气设备
更新时间:2022-03-03 10:08:29 字号:T|T


1、产品用途
       用于20工位器件超高真空排气。

2、技术参数

极限真空

10-8Pa

烘烤温度

室温+20℃~180℃

工位数量

20 工位

分区

共分成 4 个分区,每个分区可独立工作

温度均匀性

单个温区内≤±3℃